苏州芯默科技取得加热舱体与退火设备专利，实现晶圆的均匀加热
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2025-04-17 10:00:22
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金融界2025年4月16日消息，国家知识产权局信息显示，苏州芯默科技有限公司取得一项名为“一种加热舱体与退火设备”的专利，授权公告号 CN 222758372 U，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本实用新型示出了一种加热舱体与退火设备，该加热舱体包括：设置于炉体侧部的固定架，排布设置于固定架内部的多个加热管组，及分别设置于加热管组两端端部的两个固定件；固定件包括：套设于加热管组端部外侧的固定块与于两侧分别嵌入固定块并形成共同夹持加热管组所包含的管芯的两个固定柱通过调节固定柱嵌入固定块的深度调节管芯与炉体之间的距离。通过本实用新型，实现晶圆的均匀加热。

天眼查资料显示，苏州芯默科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1115万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州芯默科技有限公司参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可4个。

来源：金融界

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