为什么中国研发不出7nm的EUV光刻机?有3个原因
创始人
2025-04-20 08:20:16
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大家都清楚,EUV光刻机是当前最先进的光刻机技术,可以用于7nm及以下芯片的制造,采用13.5nm波长的极紫外线,售价几亿美元一台。

而这样的EUV光刻机,目前也只有荷兰的ASML一家能够制造,像日本的Cana、Nikon,以及中国的上海微电子,都无法制造。

所以这就导致我们制造7nm及以下工艺时候时,被光刻机卡了脖子了。

那么问题就来了,为何EUV光刻机,只有ASML一家能够制造出来,而我们研发不出来呢?原因到底出在哪里?

其实仔细分析起来,有三个方面的原因。

一、起步晚10年,中间又停了10多年研发。

不说EUV,就说最开始的光刻机发展,从步进式开始,中国就落后美国十年以来,后来有一段时间,中国更是涌现了了“造不如买”的思源,导致国产光刻机的研发,又停步了十多年。

而光刻机技术是一代一代积累的,从干式到浸润式,再到EUV,一步一台阶,就像修高楼一样,是先打地基,再从第一层,慢慢的修到第100层。

如果你前面的地基都没有打好,就想直接修50层,修100层,这现实么?所以还得从地基打起,慢慢修上去,前面的课缺了,就得补。

二、技术封锁

EUV光刻机的技术,其实是美国最早研发出来的,但美国研发出原型之后,将一整套理论和技术,交给了ASML,让ASML来研发。

美国看来,造光刻机是苦活累活,让ASML干得了,自己就用现成的,反正ASML也是自己控制的,美国还让英特尔、台积电、三星等投资ASML,做强做大EUV市场。

而ASML,拿到技术后,拿到资金后,申请了众多的专利,还垄断了元件供应市场,与一些供应链签订独家协议,将核心技术、核心元件,控制在自己手中。

而一台EUV光刻机,牵涉到几十万零件,几千家供应链,有些供应链甚至全球仅此一家,一旦被ASML绑定了,其它企业就无法合作了。

你可能说会自己重建一套呗?但是想要自己全部重建一套供应链,这是不现实的,因为市场就这么大,就够一家企业吃饱,重建供应链的后果,是供应链根本就吃不饱,活不下来,谁愿意干这么事?所以供应链也是关键之一。

三、和生态息息相关

光刻机是用来制造芯片的,光刻机的调整改进,必须要进入车间,与晶圆厂一起试验研究。

而目前我们的芯片制造技术什么样了?大家都懂的吧,ASML与英特尔、台积电、三星等都是合作关系,生态都是相辅相成的。

而我们呢,就算制造出来了,也没有一个合适的测试厂,所以这也是原因之一。

可见,要制造出EUV光刻机,可不是简单的某一点突破就行,需要全方面的突破,而我们目前的水平,还在干式光刻机阶段,之后还有浸润式光刻机,再到EUV光刻机,代差还有好几代,路还有点长,要有一点耐心,这东西的突破,真不是一朝一夕的事。

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