上海即联电子取得半导体晶圆批量处理用退火炉专利，提高退火效率_前沿科技

上海即联电子取得半导体晶圆批量处理用退火炉专利，提高退火效率

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2025-04-24 05:00:32

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金融界2025年4月23日消息，国家知识产权局信息显示，上海即联电子科技有限公司取得一项名为“一种半导体晶圆批量处理用退火炉”的专利，授权公告号CN222783920U，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体晶圆批量处理用退火炉，涉及半导体晶圆加工技术领域，包括退火炉，所述退火炉的内部分别固定连接有上加热管和下加热管，所述退火炉的底端侧壁开设有开口，所述退火炉的底端内壁转动连接有转轴，所述转轴的轴体上固定连接有转盘，所述退火炉的底部固定连接有电机。本实用新型提供的将半导体晶圆放置在放置槽的内部并卡紧设置在夹板侧壁上的卡槽内，对半导体晶圆进行放置安装，电机的输出轴转动通过锥齿轮带动转轴转动，转轴转动带动转盘转动，将转盘带有半导体晶圆的放置槽延伸至退火炉的内部，上加热管和下加热管可以对半导体晶圆进行退火处理，导热翅片可以提高导热效果，提高退火效率。

天眼查资料显示，上海即联电子科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海即联电子科技有限公司专利信息1条，此外企业还拥有行政许可3个。

来源：金融界

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