京创先进申请多片晶圆划切专利,能降低能耗提高切割效率
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2025-05-19 20:42:12
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金融界2025年5月19日消息,国家知识产权局信息显示,江苏京创先进电子科技有限公司申请一项名为“多片晶圆划切方法”的专利,公开号CN119974265A,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本发明的多片晶圆划切方法使承片台上一次性放置多个绕承片台的轴线均匀分布的晶圆,并通过视觉识别来确定每个晶圆的第一切割道的方向,并通过承片台的转动来调整晶圆的第一切割道的方向与X轴方向平行,在使晶圆的第一切割道与X轴方向平行后,通过人工辅助找晶圆的X轴方向的直径的端点的坐标的方式能够快速地确定晶圆的第一圆心坐标,并据此确定出晶圆的每条第一切割道的起点、终点或切割长度,从而控制切割机构进行切割,在第一切割道切割后,根据第一圆心坐标、承片台自转角度及承片台的轴线可以确定出所述晶圆转动后的第二圆心坐标,并基于第二圆心坐标确定出晶圆的每条第而切割道的起点、终点或切割长度,从而控制切割机构进行切割,有效实现了承片台上多片晶圆中的一者的切割,并且,重复上述步骤,可以进行承片台上其他晶圆的依次切割,能够减少承片台的移动频次,有利于降低能耗,提高切割效率,有效满足了小片晶圆的多片切割要求。

天眼查资料显示,江苏京创先进电子科技有限公司,成立于2013年,位于苏州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1007.6944万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏京创先进电子科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目37次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息241条,此外企业还拥有行政许可9个。

来源:金融界

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