北洋星光申请光路清洁度检测相关专利,有效保持光路镜片的洁净度
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2025-05-21 12:40:32
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金融界2025年5月20日消息,国家知识产权局信息显示,北洋星光(成都)科技有限公司申请一项名为“一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统”的专利,公开号CN120010193A,申请日期为2025年01月。

专利摘要显示,本发明提供了一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统,涉及芯片制造技术领域;本发明利用数字微镜器件DMD生成纯白图像,通过面阵CCD捕捉光路镜片的反射光图像,再使用CCD控制器采集面阵CCD的反射光图像,并对所有像素进行累加处理,将累加值作为镜片清洁度数据;通过实时监测光路清洁度,并根据监测结果进行按需维护,可以有效保持光路镜片的洁净度,提高光刻机的成像质量和光刻精度,从而提高芯片的良品率,避免了过度维护和不足维护的问题,减少了维护次数和维护时间,降低了维护成本。此外,本发明还能根据相关数据进行不良品批次预测和污染源分析预测,进一步挖掘利用所采集的各项数据,进而实现综合评估受影响的不良品批次和污染源。

天眼查资料显示,北洋星光(成都)科技有限公司,成立于2023年,位于成都市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,北洋星光(成都)科技有限公司财产线索方面有商标信息1条,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可1个。

来源:金融界

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