金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，北洋星光（成都）科技有限公司申请一项名为“一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统”的专利，公开号CN120010193A，申请日期为2025年01月。

专利摘要显示，本发明提供了一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统，涉及芯片制造技术领域；本发明利用数字微镜器件DMD生成纯白图像，通过面阵CCD捕捉光路镜片的反射光图像，再使用CCD控制器采集面阵CCD的反射光图像，并对所有像素进行累加处理，将累加值作为镜片清洁度数据；通过实时监测光路清洁度，并根据监测结果进行按需维护，可以有效保持光路镜片的洁净度，提高光刻机的成像质量和光刻精度，从而提高芯片的良品率，避免了过度维护和不足维护的问题，减少了维护次数和维护时间，降低了维护成本。此外，本发明还能根据相关数据进行不良品批次预测和污染源分析预测，进一步挖掘利用所采集的各项数据，进而实现综合评估受影响的不良品批次和污染源。

天眼查资料显示，北洋星光（成都）科技有限公司，成立于2023年，位于成都市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，北洋星光（成都）科技有限公司财产线索方面有商标信息1条，专利信息1条，此外企业还拥有行政许可1个。

来源：金融界