金融界2025年6月18日消息,国家知识产权局信息显示,苏州维克优真空技术有限公司取得一项名为“一种基片载板”的专利,授权公告号CN222990193U,申请日期为2024年07月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种基片载板,包括底板,所述底板上设置有多根横向限位条和多根竖向限位条,多根横向限位条和多根竖向限位条将底板分隔成多个基片放置腔;所述基片放置腔内设置有支撑结构;所述横向限位条和竖向限位条与底板可拆卸连接,所述横向限位条和竖向限位条包括竖向段和与竖向段底部连接的横向段,所述支撑结构的高度高于横向段的高度,本结构中将横向限位条和竖向限位条设计成可拆卸结构,从而使得当需要清洗载板时只需将各限位条更换清洗即可。相较于现有技术可有效降低载板使用成本,提升载板使用效率,同时通过支撑结构的设置可实可降低基板与载板的接触面积,减少对基片的损伤。
天眼查资料显示,苏州维克优真空技术有限公司,成立于2024年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州维克优真空技术有限公司财产线索方面有商标信息1条,专利信息5条,此外企业还拥有行政许可1个。
来源:金融界