金融界2024年11月19日消息,国家知识产权局信息显示,江苏启微半导体设备有限公司取得一项名为“一种晶圆传送装置”的专利,授权公告号 CN 222015368 U,申请日期为 2023 年 9 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆传送装置,包括晶圆传送机构、多轴机器人和晶圆取放机构,其中:所述晶圆传送机构用于在晶圆交换位和多个晶圆加工位之间移动;所述多轴机器人设置于所述晶圆传送机构上,以调整晶圆取放机构的取放角度;所述晶圆取放机构设置于所述多轴机器人上以取放晶圆。本发明的晶圆传送方法通过计算晶圆加工位需求时间、晶圆传送机构来返等时间进行判断,执行后续晶圆取放动作,实现提前规划路径的功能。可以适用于一点对多点、多点对多点的晶圆传送模式,确保在单位时间能够处理更多的晶圆传送需求,提高晶圆的传送效率。
来源:金融界