芯铂微取得一种稳定型圆晶载台专利,保障圆晶载台的平整度
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2025-08-03 17:40:22
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金融界2025年8月2日消息,国家知识产权局信息显示,芯铂微半导体设备(上海)有限公司取得一项名为“一种稳定型圆晶载台”的专利,授权公告号CN223181123U,申请日期为2024年09月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种稳定型圆晶载台,涉及载台技术领域,包括铁片块,所述铁片块一面设有芯片放置面,且铁片块另一面设有卡合缺口,所述铁片块一侧设置有支架一,且铁片块另一侧设置有支架二。本申请提供一种稳定型圆晶载台,本申请圆晶载台分为上下两层,下沉边缘与安装环组成的圆形边框用于圆晶载台的固定,并进一步通过密封圈与沟槽的配合实现密封形成紧密的载台整体,铁片块一面用于放置芯片,另一面设置有可折叠的支架二及配合其它结构卡合固定的卡合缺口,相较于现有技术依靠扭矩扳手锁紧螺丝的水平度调整方式,本申请通过在铁片块底部设置可折叠的支架二,用于调整圆晶载台的水平位置,保障圆晶载台的平整度。

天眼查资料显示,芯铂微半导体设备(上海)有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,芯铂微半导体设备(上海)有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息14条,此外企业还拥有行政许可2个。

来源:金融界

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