中科飞测获得发明专利授权:“一种对准系统及方法”
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2025-08-06 11:20:30
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种对准系统及方法”,专利申请号为CN202411302735.X,授权日为2025年8月5日。

专利摘要:本申请公开了一种对准系统及方法,可应用于半导体技术领域,其中系统包括:设备前端模块和制程模块;设备前端模块包括机械手臂、第一预对准装置以及第二预对准装置;在取片时,机械手臂用于将晶圆从晶圆盒搬运至第一预对准装置,将托盘从托盘盒搬运至第二预对准装置;第一预对准装置用于对晶圆进行预对准;第二预对准装置用于对托盘进行预对准;机械手臂还用于将预对准后的晶圆搬运至预对准后的托盘的上方,并由第二预对准装置将晶圆放入托盘中;机械手臂还用于将承载着晶圆的托盘搬运至制程模块;制程模块用于接收托盘,并对托盘承载着的晶圆进行工艺。由此,通过两个预对准装置分别对晶圆和托盘进行预对准,减少了搬运次数,提高了预对准精度。

今年以来中科飞测新获得专利授权52个,较去年同期减少了40.23%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了4.98亿元,同比增118.17%。

通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目263次;财产线索方面有商标信息332条,专利信息993条,著作权信息35条;此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源:天眼查APP

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