新傲科技取得外延装置专利，确保生长腔室内的洁净度
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2025-12-06 13:00:20
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国家知识产权局信息显示，上海新傲科技股份有限公司取得一项名为“外延装置”的专利，授权公告号CN 223620535 U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本实用新型涉及一种外延装置。所述外延装置包括生长腔室、传输腔室、装载腔室及气体平衡结构，所述传输腔室位于所述生长腔室与所述装载腔室之间；其中，所述气体平衡结构包括第一气源热排风管；第一真空发生器，包括第一进气口、第一排气口和第一真空吸入口，所述第一进气口与所述第一气源连通，所述第一排气口与所述热排风管连通，所述第一真空吸口与所述传输腔室连通。本实用新型避免了热排风管中的残余空气进入生长腔室，确保了生长腔室内的洁净度，进而改善了生长腔室内外延工艺的质量。
天眼查资料显示，上海新傲科技股份有限公司，成立于2001年，位于上海市，是一家以从事化学纤维制造业为主的企业。企业注册资本31500万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新傲科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目91次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息248条，此外企业还拥有行政许可158个。
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来源：市场资讯
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