我国首台！芯片制造核心装备取得重要突破
创始人
2026-01-21 02:41:10
0次
◎ 科技日报记者 都芃
记者17日从中核集团中国原子能科学研究院获悉， 由该院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）成功出束，核心指标达到国际先进水平。这标志着我国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链中的关键环节，为推动高端制造装备自主可控、保障产业链安全奠定坚实基础。
离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造“四大核心装备”，是半导体制造不可或缺的“刚需”设备。长期以来，我国高能氢离子注入机完全依赖国外进口，其研发难度大、技术壁垒高，是制约我国关键技术产业升级发展的瓶颈之一。
中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累，以串列加速器技术作为核心手段，破解一系列难题， 完全掌握了串列型高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的正向设计能力，打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断，将有力提升我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力，更为助力“双碳”目标实现、加快发展新质生产力提供强有力技术支撑。
来源：科技日报
编辑：山西科技传媒集团运城分公司编辑
相关内容
热门资讯
无机房电梯楼层显示器异常解决指...
电梯 无机房电梯楼层显示器异常怎么办？ 别急，本文将为您详细解答。首先，我们要了解无机房电梯楼层显示...
东风汽车集团申请阻燃柔性固态电...
金融界2025年1月31日消息，国家知识产权局信息显示，东风汽车集团股份有限公司申请一项名为“一种阻...
中端性能机大乱斗：加米耀酷真，...
近期，中端手机市场迎来了多款新品，包括一加Ace 5、REDMI K80、荣耀GT、真我Neo 7以...
我市特步5G工厂入选国家5G工...
日前，工业和信息化部发布《关于2024年5G工厂名录的公示》，我市特步5G工厂入选国家5G工厂名录，...
卫星化学获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示卫星化学（002648）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
自动驾驶+跟踪巡逻+现场抓捕 ...
近日，在浙江温州的闹市区，特警巡逻队带着一台球形机器人一起巡街，引来不少路人的关注。 球形“机器警察...
360智脑张向征：构建安全可信...
人工智能的加速发展，有力推动了社会的数智化转型；与此同时，带来的相关安全风险也日益凸显。近日，在北京...
原创 3...
一、iQOO 12 参考价格:2659元（12G+256G）。 性能强劲，游戏无忧 首先不得...
联想宣布旗下AIPC个人智能体...
DoNews2月7日消息，近日，联想宣布个人智能体“小天”已接入DeepSeek，除了目前可以在联想...
2025年消脂设备产业数据报告
消脂仪是医学美容领域的医疗器械。 它使用激光和微波等设备根据其波长向真皮/皮下平面发射能量； 通过加...