芯丰精密取得门体结构及晶圆清洗装置专利,可有效防止气体泄露
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2026-01-29 11:40:34
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国家知识产权局信息显示,宁波芯丰精密科技有限公司取得一项名为“一种门体结构及晶圆清洗装置”的专利,授权公告号CN223832957U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型属于半导体设备技术领域,公开一种门体结构及晶圆清洗装置。晶圆清洗装置包括主壳体,主壳体内设置有安装腔室,主壳体的侧壁设置有与安装腔室连通的开口通道。门体结构包括第一门体和第二门体。第一门体被配置为可升降地设置于主壳体的外侧面,且能够封堵开口通道的靠外的一端。第二门体被配置为可升降设置于主壳体的内侧面,且能够封堵开口通道的靠内的一端。第一门体、第二门体和开口通道能够共同围设形成导出腔。抽风管被配置为设置于主壳体外侧,抽风管的一端被配置为与导出腔连通,另一端被配置为与气体回收处理设备连通。该晶圆清洗装置能充分清洗晶圆,且通过设置门体结构可有效防止气体泄露,避免影响工作人员的身体健康。

天眼查资料显示,宁波芯丰精密科技有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5324.6745万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波芯丰精密科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息83条。

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来源:市场资讯

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