寰采星科技申请缺陷检测方法专利,能提升对缺陷的识别精准度
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2026-02-17 06:00:26
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国家知识产权局信息显示,寰采星科技(宁波)有限公司申请一项名为“一种缺陷检测方法、修补设备、FMM生产方法及生产线”的专利,公开号CN121522953A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种缺陷检测方法、修补设备、FMM生产方法及生产线,涉及半导体领域,缺陷检测方法包括:提供带状的金属基材,金属基材的主表面上具有由感光材料形成的掩膜图案;使用第一光线照射金属基材的主表面,采集主表面的图像和掩膜图案的第一图像;使用第二光线照射金属基材的主表面,采集掩膜图案的第二图像,所述第二光线为能使掩膜图案产生荧光的光线;对主表面的图像进行识别分析,判定主表面是否存在缺陷;对第一图像和第二图像进行识别分析,将两次的识别分析结果进行对比和汇总,判定掩膜图案是否存在缺陷。本发明的缺陷检测方法,能提升对缺陷的识别精准度,提高FMM的良品率。

天眼查资料显示,寰采星科技(宁波)有限公司,成立于2019年,位于宁波市,是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本5890.0099万人民币。通过天眼查大数据分析,寰采星科技(宁波)有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目38次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息49条,此外企业还拥有行政许可12个。

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来源:市场资讯

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