纳诺半导体申请晶圆定位夹持转运装置专利,提高检测效率
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2026-03-15 03:25:02
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国家知识产权局信息显示,合肥市纳诺半导体有限公司申请一项名为“一种晶圆定位夹持的转运装置”的专利,公开号CN121665996A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明属于半导体晶圆缺陷检测技术领域,公开一种晶圆定位夹持的转运装置,用于承接晶圆并转运至检测设备的承载盘上,承载盘中心轴线呈竖直向上放置,检测设备水平滑动连接于机台上;机台上设置有升降单元,升降单元上连接有用于承接并对晶圆进行夹持固定的夹持单元,升降单元用于驱动夹持单元进行升降移动;夹持单元包括至多两个的限位头和至少一个挤压头,限位头和挤压头的总数至少为三个,挤压头均连接有第一驱动部;有效解决了现有技术中存在着因晶圆下落过程中缺乏有效导向控制、且受晶圆自身制造公差影响,导致晶圆落位后与承载盘的同轴度难以保证,进而限制了承载盘旋转检测速度,影响检测效率的问题。

天眼查资料显示,合肥市纳诺半导体有限公司,成立于2021年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1448.2698万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥市纳诺半导体有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息7条,此外企业还拥有行政许可1个。

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来源:市场资讯

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