捷佳芯创申请镀膜装置及镀膜生产线专利,大幅降低操作难度
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2026-03-15 21:44:47
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国家知识产权局信息显示,深圳市捷佳芯创科技有限责任公司申请一项名为“镀膜装置及镀膜生产线”的专利,公开号CN121653582A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供了一种镀膜装置及镀膜生产线。其中,镀膜装置包括镀膜腔室及第一靶门。镀膜腔室内能够容置待加工件,且镀膜腔室上开设有第一安装口。第一靶门用于选择性密封第一安装口,第一靶门的内侧壁设置有第一靶材,当第一靶门密封于第一安装口时,第一靶材正对待加工件。本发明提供的镀膜装置,当需要更换第一靶材时,解除第一靶门与镀膜腔室的可拆卸连接,将第一靶门整体从第一安装口处拆卸下来,即可在镀膜腔室外部直接对第一靶门上的第一靶材进行更换或维护,无需操作人员进入狭小的镀膜腔室内进行拆卸安装,大幅降低操作难度,缩短更换第一靶材的时间,提高镀膜的生产效果。

天眼查资料显示,深圳市捷佳芯创科技有限责任公司,成立于2023年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3600万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市捷佳芯创科技有限责任公司专利信息29条,此外企业还拥有行政许可1个。

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来源:市场资讯

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