金融界2025年3月25日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司取得一项名为“喷嘴支撑臂位置偏移检测装置及旋涂单元和涂胶设备”的专利，授权公告号CN 222653249 U，申请日期为2024年3月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种喷嘴支撑臂位置偏移检测装置及旋涂单元和涂胶设备，旋涂单元包括载片台、收集杯、胶喷嘴、边缘清洗喷嘴以及喷嘴支撑臂；载片台设置在收集杯中，胶喷嘴和边缘清洗喷嘴均设置在载片台的上方，喷嘴支撑臂与边缘清洗喷嘴连接；检测装置包括压力监测组件和信息获取组件，压力监测组件安装于旋涂单元内；压力监测组件用于监测硅片表面的压力；信息获取组件与压力监测组件连接，信息获取组件，配置为：根据压力监测组件监测到的硅片表面的压力以及预设压力偏差阈值，获取喷嘴支撑臂的位置是否发生偏移。本实用新型能够减少产品生产过程中的缺陷，降低对产品生产质量的影响，进而能够提高产品的生产良率。

天眼查资料显示，上海华力微电子有限公司，成立于2010年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2840207.7441万人民币，实缴资本2597159.954641万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力微电子有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目509次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可101个。

来源：金融界