湖北日报全媒记者 李仁玺
在芯片制造过程中,光刻机和光刻胶是常被提起的“卡脖子”产品,而决定光刻胶感光度和分辨率的核心材料,就是光引发剂,国内几乎全部依赖进口。
4月24日,湖北三峡实验室集中发布12项重大科技成果,其中,光刻胶用重氮萘醌型(PAC)光引发剂制备技术被攻克,成功突破国外技术垄断。
“我们正在为30吨产线建设提供技术服务。”5月6日,三峡实验室光刻胶用光引发剂项目团队负责人周钢翔告诉湖北日报全媒记者,生产线计划年内投产。
攻坚三年,实现“从0到1”
“突破光引发剂制备技术,是一次市场需求倒逼的研发创新。”三峡实验室主任池汝安说,因光引发剂遭遇限购和断供,给国内半导体产业链的生产带来极大压力。
兴发集团旗下的兴福电子,希望切入光引发剂产业赛道,但从0到1的研发风险让企业想到借力。
企业出题,实验室答题。2022年底,光引发剂项目在三峡实验室启动,并在2023年初正式立项。
湖北三峡实验室外景。 (通讯员 李阳 摄)
也就在同一时间,周钢翔开始接触三峡实验室。彼时,周钢翔刚拿到德国海德堡大学有机化学博士学位,想回国求职。
“当时准备去深圳一所高校面试,但同学向我推荐了三峡实验室,就决定来了解下。”周钢翔说,光引发剂项目很切合自己的研究方向。
2023年4月,周钢翔正式入职三峡实验室。和他同一天进来的,还有毕业于武汉大学的吴翔博士。一个由5人组成的研发团队正式形成。
“从克级、公斤级,再到吨级,前后经历大小上千次实验,团队人员也增加到10人,大家对目标一直不放弃。”周钢翔说。
在开展光引发剂试验的周钢翔博士。 (通讯员 李阳 摄)
历时三年的研发攻坚,过程充满艰辛。团队需要解决的,不仅是从无到有的技术实现,更要确保产品性能足以比肩国际顶尖水平。
“最困难的是稳定性。”周钢翔说,光引发剂对反应条件有极高要求,波动范围必须控制在0.5%的幅度之内。
从实验室小样到打通工艺化流程,不断发现问题、解决问题。
2025年3月,500公斤级材料送到上海一家光刻胶龙头企业试用。两个月后,这家企业回复:送样各项指标与国外进口厂商达到同一水平。
“那一刻,心中真是无比喜悦。”周钢翔说。
走出实验室,成为“香饽饽”
从外观上看,光引发剂就是一种固体粉末,呈淡黄色。
据了解,光引发剂国际上最高卖到120万元一吨,国内每年需求量在2000吨左右,国产后成本有望下降三成。
池汝安说,三峡实验室实现技术突破后,多家光刻胶厂家抛来橄榄枝,希望借此实现国内光引发剂的产业化。
兴福电子也看到了这一点,双方迅速展开洽谈。
2025年12月9日,湖北兴福电子发布公告,以4626.78万元收购湖北三峡实验室这一重大科技成果。这也是三峡实验室首个千万级科技成果产业化项目。
曾经的“卡脖子”技术,迈出了走向市场的关键一步。
周钢翔说,产品将主要面向国内成熟制程、芯片制造以及面板制造行业,像国内目前的新能源汽车发展迅速,有大量的芯片都需要用到G/I线光刻胶,光引发剂在国内市场前景广阔。
目前,兴福电子30吨/年光刻胶用光引发剂项目已进入建设阶段,计划2026年三季度进行设备安装,投产后将成为湖北第一条光刻胶用光引发剂生产线,打破该材料长期被境外企业垄断的局面。
对三峡实验室光引发剂项目研发团队来说,还有新的挑战在前方。
周钢翔透露,项目团队正瞄准高端光刻胶用光致产酸剂制备技术开发,解决氟化氪和氟化氩型光刻胶的需求难题。